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摘 要:針對(duì)先進(jìn)納米銅互連技術(shù)的要求，研究了脈沖電流密度對(duì)銅互連線電阻率、晶粒尺寸和表面粗糙度等性能的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，2～4A／dm^2電流密度下的銅鍍層擁有較小電阻率、較小的表面粗糙度和較大的晶粒尺寸。[著者文摘]
摘 要:針對(duì)先進(jìn)納米銅互連技術(shù)的要求，研究了脈沖電流密度對(duì)銅互連線電阻率、晶粒尺寸和表面粗糙度等性能的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，2～4A／dm^2電流密度下的銅鍍層擁有較小電阻率、較小的表面粗糙度和較大的晶粒尺寸。[著者文摘]
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