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圓片級封裝的凸點制作技術(shù).pdf

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2008-08-13??瀏覽次數(shù):398 ??關(guān)注:加關(guān)注
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【簡介】

圓片級封裝是一種先進(jìn)的電子封裝技術(shù),近年來,圓片級封裝技術(shù)的發(fā)展速度很快,主要應(yīng)用于系統(tǒng)級芯片、光電器件和MEMS等。凸點制作是圓片級封裝工藝的關(guān)鍵工序,目前凸點制作工藝方法有多種,重點介紹常用的電鍍法、植球法和蒸發(fā)沉積法凸點工藝,分別介紹這三種凸點制作技術(shù)的工藝流程、關(guān)鍵技術(shù)。

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