??
【簡介】
研究了一種電磁性射頻（RF）微機電系統(tǒng)（MEMS）開關的軟磁懸鼻梁的制備工藝。為了得到適合MEMS器件應用的鎳鐵合金磁性薄膜，展開微電鍍工藝分析，采用振動祥品磁強計測量鎳鐵合金薄膜的磁參量。實驗結果：最大相對磁導率約為460，薄膜矯頑力約為490A/m，寶盒磁感應強度約為0.9T，剩磁感應強度為0.03-0.06T。此結果為開關結構設計優(yōu)化提供了依據(jù)。
【簡介】
研究了一種電磁性射頻（RF）微機電系統(tǒng)（MEMS）開關的軟磁懸鼻梁的制備工藝。為了得到適合MEMS器件應用的鎳鐵合金磁性薄膜，展開微電鍍工藝分析，采用振動祥品磁強計測量鎳鐵合金薄膜的磁參量。實驗結果：最大相對磁導率約為460，薄膜矯頑力約為490A/m，寶盒磁感應強度約為0.9T，剩磁感應強度為0.03-0.06T。此結果為開關結構設計優(yōu)化提供了依據(jù)。
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
