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摘 要:研究了一種電磁型射頻（RF）微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）開關(guān)的軟磁懸臂梁的制備工藝。為了得到適合MEMS器件應(yīng)用的鎳鐵合金磁性薄膜，展開微電鍍工藝分析，采用振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)測量鎳鐵合金薄膜的磁參量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果：最大相對磁導(dǎo)率約為460，薄膜矯頑力約為490A／m，飽和磁感應(yīng)強(qiáng)度約為0．9T，剩磁感應(yīng)強(qiáng)度為0．03～0．06T。此結(jié)果為開關(guān)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化提供了依據(jù)。[著者文摘]
