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摘 要:追述了薄膜淀積技術(shù)的歷史，按照制備手段對(duì)MEMS制造中使用的各種薄膜制造技術(shù)進(jìn)行了大致的分類和對(duì)比，介紹了相應(yīng)的理論研究概況，除了電鍍技術(shù)之外，MEMS技術(shù)基本來(lái)自傳統(tǒng)的IC制造工藝。[著者文摘]
摘 要:追述了薄膜淀積技術(shù)的歷史，按照制備手段對(duì)MEMS制造中使用的各種薄膜制造技術(shù)進(jìn)行了大致的分類和對(duì)比，介紹了相應(yīng)的理論研究概況，除了電鍍技術(shù)之外，MEMS技術(shù)基本來(lái)自傳統(tǒng)的IC制造工藝。[著者文摘]
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