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(12)發(fā)明專利申請(qǐng)
(10)申請(qǐng)公布號(hào) CN 102618838 A _(43)申請(qǐng)公布日2012.08.01
(21)申請(qǐng)?zhí)?201210066708. 8
(22)申請(qǐng)日 2012. 03. 14
(71)申請(qǐng)人昆山振昆納米科技有限公司
地址215301江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)吳淞 江路西側(cè)、同豐路南側(cè)
(72)發(fā)明人 阮佳龍 康進(jìn)昌 羅訥納 唐新榮
(74)專利代理機(jī)構(gòu)南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限 公司32224
代理人董建林
(51) Int. CI.
C23C 14/56(2006. 01)
C23C 14/24(2006. 01)
權(quán)利要求書1頁說明書3頁附圖2頁
(54)發(fā)明名稱
真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼
(57)摘要
本發(fā)明涉及的是一種真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系 統(tǒng)用冷卻外殼，其包括金屬罩體，金屬罩體上設(shè)有 復(fù)數(shù)個(gè)排列有序，并且內(nèi)凹的加強(qiáng)圓槽，所述加強(qiáng) 圓槽呈半球形或圓錐臺(tái)形;在加強(qiáng)圓槽底部設(shè)有 用連接現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁的安裝孔，
金屬罩體通過安裝孔并以焊接方式固定在現(xiàn)有真 空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁上，在金屬罩體與待冷卻 外壁之間通過加強(qiáng)圓槽構(gòu)成循環(huán)通道。本發(fā)明確 保了冷卻水的流通，避免死角現(xiàn)象的產(chǎn)生，有效地 對(duì)鍍膜腔進(jìn)行快速降溫，降低油擴(kuò)散泵的溫度，解 決了降溫效果不理想的問題，縮短了抽真空的時(shí) 間，通過減少了鍍膜設(shè)備外壁安裝厚度，加強(qiáng)了冷 卻外殼的強(qiáng)度;其結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠和冷卻效 果好的優(yōu)點(diǎn)。
1.真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼，其包括金屬罩體，其特征在于，所述金屬罩 體上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)排列有序，并且內(nèi)凹的加強(qiáng)圓槽，所述加強(qiáng)圓槽呈半球形或圓錐臺(tái)形;在所 述加強(qiáng)圓槽底部設(shè)有用連接現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁的安裝孔，所述金屬罩體通過安 裝孔并以焊接方式固定在現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁上，在所述金屬罩體與待冷卻外壁 之間通過加強(qiáng)圓槽構(gòu)成循環(huán)通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼，其特征在于，在所述 金屬罩體上相鄰兩所述加強(qiáng)圓槽的縱橫間距為100-300mm,上述加強(qiáng)圓槽槽深為12_15mm, 所述金屬罩體的厚度為2-5_。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼，其特征在于，所述加 強(qiáng)圓槽的最大直徑為24-136mm。
真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及的是一種真空鍍膜機(jī)的冷卻系統(tǒng)，具體涉及的是一種真空鍍膜機(jī)循環(huán) 冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
[0002] 真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，其已經(jīng)被廣泛應(yīng)用，制 鍍薄膜尤其廣泛，其制作的各種薄膜被應(yīng)用到各光電系統(tǒng)及光學(xué)儀器中，如數(shù)碼相機(jī)、望遠(yuǎn) 鏡、顯示技術(shù)、半導(dǎo)體激光、微機(jī)電系統(tǒng)、各種濾光片、建筑玻璃、汽車工業(yè)、眼鏡片等等，鍍 膜機(jī)器已經(jīng)與人類的生活緊密聯(lián)系。在使用真空鍍膜設(shè)備制備薄膜材料時(shí)，由于必須達(dá)到 一定的真空度時(shí)才可進(jìn)行鍍膜過程，普遍采用油擴(kuò)散泵來實(shí)現(xiàn)真空鍍膜的真空條件。冷卻 系統(tǒng)是保證油擴(kuò)散泵正常工作的重要條件，在真空鍍膜裝置上也是一個(gè)極為重要的系統(tǒng)。
[0003] 現(xiàn)有真空鍍膜的冷卻系統(tǒng)通常采用兩種方式：一種是真空鍍膜設(shè)備直接與自來水 管連接，水管中的水通過自壓進(jìn)入真空鍍膜設(shè)備冷卻系統(tǒng)，經(jīng)過鍍膜設(shè)備冷卻用后的水通 入實(shí)驗(yàn)室排水管道;另一種是采用有制冷功能的制冷機(jī)冷卻設(shè)備，冷卻裝置需有定量的去 離子水。但無論那一種冷卻方式均是將冷卻水流入真空鍍膜設(shè)備冷卻系統(tǒng)的冷卻外殼，現(xiàn) 有的冷卻外殼與真空鍍膜設(shè)備之間通過隔板固定安裝真空鍍膜設(shè)備外壁上，通過隔板作用 使真空鍍膜設(shè)備外壁與冷卻外殼之間形成若干水通道，該冷卻水從底部進(jìn)入冷卻外殼內(nèi)的 水通道，然后從上端流出，以便來實(shí)現(xiàn)真空鍍膜的冷卻作用。而這種結(jié)構(gòu)安裝的冷卻外殼， 其強(qiáng)度要求高，且與真空鍍膜設(shè)備外壁之間的間距大，增加了真空鍍膜設(shè)備外壁厚度，工藝 復(fù)雜，而且冷卻外殼通過隔板固定在真空鍍膜設(shè)備外壁，其強(qiáng)度低，使用壽命短，并且在冷 卻過程中，處于外殼底端的水通道內(nèi)存在冷卻水死角的現(xiàn)象，即難以及時(shí)更新冷卻水，造成 真空鍍膜設(shè)備的局部冷卻效果差，影響整體冷卻的效果。
發(fā)明內(nèi)容
[0004] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)上存在的不足，本發(fā)明目的是在于提供一種能夠避免死角現(xiàn)象的產(chǎn) 生和使冷卻水充分循環(huán)流通，提高冷卻效果以及增加安裝強(qiáng)度的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng) 用冷卻外殼，減少真空鍍膜設(shè)備外壁安裝厚度，結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠。
[0005] 為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)：
真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼，其包括金屬罩體，其特征在于，所述金屬罩體上 設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)排列有序，并且內(nèi)凹的加強(qiáng)圓槽，所述加強(qiáng)圓槽呈半球形或圓錐臺(tái)形，起到加強(qiáng) 筋的作用，增加冷卻外殼的強(qiáng)度;在所述加強(qiáng)圓槽底部設(shè)有用連接現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷 卻外壁的安裝孔，所述金屬罩體通過安裝孔并以焊接方式固定在現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻 外壁上，在所述金屬罩體與待冷卻外壁之間通過加強(qiáng)圓槽構(gòu)成循環(huán)通道，確保了冷卻水的 流通，避免死角現(xiàn)象的產(chǎn)生。
[0006] 根據(jù)上述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼，其特征在于，在所述金屬罩體 上相鄰兩所述加強(qiáng)圓槽的縱橫間距為100-300mm,上述加強(qiáng)圓槽槽深為12_15mm,所述金屬罩體的厚度為2-5mm。
[0007] 根據(jù)上述的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼，其特征在于，所述加強(qiáng)圓槽的 最大直徑為24_136mm。
[0008] 本發(fā)明通過設(shè)置有加強(qiáng)圓槽，并通過加強(qiáng)圓槽構(gòu)成冷卻水流通的循環(huán)通道，確保 了冷卻水的流通，避免死角現(xiàn)象的產(chǎn)生，有效地對(duì)鍍膜腔進(jìn)行快速降溫，降低油擴(kuò)散泵的溫 度，解決了降溫效果不理想的問題，縮短了抽真空的時(shí)間，通過減少了鍍膜設(shè)備外壁安裝厚 度，加強(qiáng)了冷卻外殼的強(qiáng)度;其結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠和冷卻效果好的優(yōu)點(diǎn)。
附圖說明
[0009] 下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式來詳細(xì)說明本發(fā)明;
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為圖1的A-A剖視的局部圖;
圖3為本發(fā)明的一實(shí)施例。
[0010] 具體實(shí)施方式
為使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體 實(shí)施方式，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。
[0011] 參見圖1至圖3,本實(shí)施例的真空鍍膜機(jī)循環(huán)冷卻系統(tǒng)用冷卻外殼,其包括金屬罩 體1，該金屬罩體1的厚度為2-5mm，在金屬罩體1上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)排列有序，并且內(nèi)凹的加強(qiáng) 圓槽2，在金屬罩體1上相鄰兩加強(qiáng)圓槽2的縱橫間距為100-300mm，每個(gè)加強(qiáng)圓槽2均呈 半球形或圓錐臺(tái)形，用于增加冷卻外殼的強(qiáng)度，使其滿足冷卻系統(tǒng)需要的強(qiáng)度。在本實(shí)施例 中，在金屬罩體1展開情況，相鄰兩加強(qiáng)圓槽2的縱橫間距為250mm，加強(qiáng)圓槽2呈圓錐臺(tái) 形，即也呈喇機(jī)狀，其中，加強(qiáng)圓槽的槽深為12-15mm,金屬罩體1的厚度為3mm ;在加強(qiáng)圓槽 的底部即底臺(tái)中心加工連接現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁3的安裝孔10，該安裝孔10的直 徑為9_，便用焊接，增強(qiáng)牢固性。
[0012] 本實(shí)施例中，參見圖3，金屬罩體1通過安裝孔10并以氬弧焊焊接方式固定在現(xiàn)有 真空鍍膜機(jī)的待冷卻外壁3上，焊接時(shí)，焊接填滿安裝孔10，增加安裝的穩(wěn)定性。在所述金 屬罩體1與待冷卻外壁之間通過加強(qiáng)圓槽2構(gòu)成循環(huán)通道4，冷卻水從金屬罩體1與待冷卻 外壁之間循環(huán)通道4底部進(jìn)入，然后由上部流出，由于每個(gè)循環(huán)通道4相互連通，使其確保 了冷卻水的相互流通，避免死角現(xiàn)象的產(chǎn)生，提高了冷卻效果，延長了其使用壽命。
[0013] 值得一提的是，加強(qiáng)圓槽2的最大直徑為24-136mm，本實(shí)施例中，在金屬罩體1上 加工有最大直徑即口徑為24、55、136mm的加強(qiáng)圓槽2，該口徑為55mm的加強(qiáng)圓槽的槽深為 15mm,其槽壁為圓弧形狀，該槽壁與金屬罩體彎折位置設(shè)置為倒角11。
[0014] 本發(fā)明通過設(shè)置有加強(qiáng)圓槽2，并通過加強(qiáng)圓槽2構(gòu)成冷卻水流通的循環(huán)通道4， 確保了冷卻水的流通，避免死角現(xiàn)象的產(chǎn)生，有效地對(duì)鍍膜腔進(jìn)行快速降溫，降低油擴(kuò)散泵 的溫度，解決了降溫效果不理想的問題，縮短了抽真空的時(shí)間，通過減少了鍍膜設(shè)備外壁安 裝厚度，加強(qiáng)了冷卻外殼的強(qiáng)度;其結(jié)構(gòu)簡單、安全可靠和冷卻效果好的優(yōu)點(diǎn)。
[0015] 以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù) 人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本 發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其 等效物界定。
