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一、簡介
物理氣相沉積(PVD)是利用熱蒸發(fā)、輝光放電或弧光放電等物理過程，在基材表面沉積所需涂層的技術(shù)。材料工程學院可以提供濺射鍍膜和離子鍍膜兩種物理氣相沉積技術(shù)方面的服務。
二、主要技術(shù)特點
物理氣相沉積技術(shù)具有以下特點：鍍層材料廣泛，可鍍各種金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物等化合物鍍層，也能鍍制金屬、化合物的多層或復合層;鍍層附著力強;工藝溫度低，工件一般無受熱變形或材料變質(zhì)等問題。
三、應用情況
物理氣相沉積鍍膜技術(shù)的應用可大致分為機械功能膜和物理功能膜兩大類。前者包括耐磨、減摩、耐熱、抗蝕等表面強化薄膜材料、固體潤滑薄膜材料;后者包括電、磁、聲、光等功能薄膜材料等。
用TiN，TiC等超硬鍍層涂覆刀具、模具等表面，摩擦系數(shù)小，化學穩(wěn)定性好，具有優(yōu)良的耐熱、耐磨、抗氧化、耐沖擊等性能，既可以提高刀具、模具等的工作特性，又可以提高使用壽命，一般可使刀具壽命提高3～10倍。
在高溫、低溫、超高真空、射線輻照等特殊條件下工作的機械部件不能用潤滑油，只有用軟金屬或?qū)訝钗镔|(zhì)等固體潤滑劑。其中濺射法制取Mo2S膜及聚四氟乙烯膜十分有效。該法得到的Mo2S膜致密性好，附著性優(yōu)良，摩擦系數(shù)在0.02～0.05范圍內(nèi)。濺射法制取的聚四氟乙烯膜的潤滑特性不受環(huán)境濕度的影響，可長期在大氣環(huán)境中使用，是一種很有發(fā)展前途的固體潤滑劑。其使用溫度上限為50℃，低于-260℃時才失去潤滑性。Mo2S、聚四氟乙烯等濺射膜，在長時間放置后性能變化不大，這對長時間備用、突然使用又要求可靠的設(shè)備如防震、報警、防火、保險裝置等是較為理想的固體潤滑劑。
