??
塑料真空鍍膜設(shè)備的發(fā)展相當(dāng)快，隨著生產(chǎn)率的提高，生產(chǎn)費(fèi)用大大降低，已經(jīng)為真空鍍膜產(chǎn)品的普遍使用鋪平了道路。以卷繞式真空鍍膜機(jī)為例，剛開(kāi)發(fā)時(shí)可鍍的薄膜基材寬度是150mm，目前已達(dá)2253mm。基材卷筒的最大卷徑是1000mm，最大卷繞速度750m/min。自動(dòng)裝卸的半連續(xù)卷繞式真空鍍膜機(jī)鍍膜時(shí)間占整個(gè)周期的75%，輔助操作時(shí)間只占25%。效率更高的從大氣到大氣的卷繞式真空鍍膜機(jī)已于1977年出售。隨著計(jì)測(cè)技術(shù)、控制技術(shù)的進(jìn)步和電子計(jì)算機(jī)的應(yīng)用，卷繞式真空鍍膜機(jī)正向著高度自動(dòng)化和高度可靠性的方向發(fā)展。
卷繞式真空鍍膜機(jī)能夠沉積的鍍膜層厚度范圍為0.01-0.2μm，可以在這個(gè)范圍內(nèi)選擇，有的還可以鍍多層膜，滿(mǎn)足多種需要。日本專(zhuān)利提出沉積兩種不同鍍膜材料的卷繞式蒸鍍裝置。該裝置的真空室(6)分為上室(7)，左下室(8)和右下室(9)。蒸鍍時(shí)，兩組蒸發(fā)源(19、23)蒸發(fā)的鍍膜材料(21、25)分別沉積在塑料薄膜(11)上，在塑料薄膜沒(méi)有蒸鍍的一側(cè)，裝上輝光放電發(fā)生器(15、16)。發(fā)生器產(chǎn)生的輝光放電氣體能防止塑料薄膜起皺。使用這套裝置可以在極薄的塑料薄膜上鍍上無(wú)折皺的多層膜，用于制磁帶和薄膜太陽(yáng)能電池等。該裝置示意圖見(jiàn)圖1
圖1改進(jìn)的卷繞式蒸鍍裝置
近年來(lái)，高速低溫濺射法發(fā)展很快，使高熔點(diǎn)金屬如鉻、鈦、鎢、鉬等的沉積成膜成為可能。鍍膜室直徑1400mm，高2200mm的大型鐘罩式濺射鍍膜機(jī)和長(zhǎng)13mm，寬7.6mm的大型串列式濺射鍍膜機(jī)已投入使用。最近，日本專(zhuān)利提出一種卷繞式濺射鍍膜機(jī)，該機(jī)可鍍兩種不向的鍍膜材料，并在第一濺射區(qū)和第二濺射區(qū)之間裝溫度控制裝置(13)，加強(qiáng)對(duì)基材的冷卻，保證在鍍膜層較厚和沉積速度較快的情況下，基材不會(huì)發(fā)生卷縮和變形。該裝置示意圖見(jiàn)圖1。真空室(1)裝有濺射靶(4a,4b)和陽(yáng)極(14a,14b)，兩個(gè)靶分別與直流電源(5a,5b)相接，對(duì)塑料薄膜(8)進(jìn)行濺射。輥筒(11a,11b,11c))有各自的冷卻溫度。
圖2改進(jìn)的濺射膜裝置
