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摘要：分別采用雙槽法和單槽法制備了不同調(diào)制波長(zhǎng)的Cu/Ni多層膜,研究了多層膜硬度與調(diào)制波長(zhǎng)之間的關(guān)系。結(jié)果表明,當(dāng)調(diào)制波長(zhǎng)大于33 nm時(shí)．硬度與調(diào)制波長(zhǎng)的關(guān)系符合Hall-Petch關(guān)系式；小于33 nm時(shí),偏離了Hall-Petch關(guān)系式；等于21 nm時(shí),硬度出現(xiàn)了峰值,約為HV451. 8。
