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公開日 20090721
發(fā)明人 三浦茂紀
受讓人 FCM株式會社
一種電沉積制備錫–銀–銅三元合金薄膜的方法。鍍液中含有錫化合物、銀化合物、銅化合物、無機螯合劑以及有機螯合劑。該無機螯合劑是聚磷酸基螯合劑或具有通式(1)所示結(jié)構(gòu)的螯合劑。有機螯合劑是卟啉、二叔戊酰甲烷、酞菁或具有通式(2)所示結(jié)構(gòu)的化合物中的一種。
(1)
式(1)中M是任意金屬，X是任意自然數(shù)，Y是M的氧化值。
(2)
式(2)中R是碳原子數(shù)為8 ~ 30的烷基，A是CH2COONa或CH2SO4Na，n是自然數(shù)。
