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摘要：利用化學(xué)鍍銅工藝，以十二烷基苯磺酸鈉(SDBS)作為鍍液添加劑，在未經(jīng)刻蝕的玻璃表面制備了納米銅膜。采用FESEM、SEM和XRD等技術(shù)對(duì)銅膜表面、斷面形貌及晶體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征。結(jié)果表明，銅膜內(nèi)團(tuán)簇尺寸非常細(xì)小，晶粒尺寸約為15.5～28.3 nm，且存在較強(qiáng)的<111>織構(gòu)。采用四探針法測(cè)量銅膜的電阻率，并討論了電阻率隨沉積時(shí)間增加而逐漸下降的原因。
