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公開日 20100114
發(fā)明人 YAO H-R, LIN G-Y, YIN J, WU H-P, NEISSER M, DAMMEL R R
申請人 AZ Electronic Materials USA Corp.
描述了一種抗反射涂料組成物，其成分中包括不含芳香族發(fā)色基團(tuán)的新型聚合物(適用作高數(shù)值孔徑光刻中的抗反射涂層材料)。聚合物骨架及其不含芳香族發(fā)色基團(tuán)的特質(zhì)，決定了該材料具有超高蝕刻速率。該涂料組成物中的其余成分為產(chǎn)酸劑，也可含有交聯(lián)劑。上述聚合物具有2種結(jié)構(gòu)單元：一是從氨基塑料衍生而來的結(jié)構(gòu)單元;二是從二元醇、三元醇、二硫醇、三硫醇、其他多元醇，二元酸、三元酸、其他多元酸，二酰亞胺、二酰胺、酰亞胺–酰胺，或其混合物衍生而來的結(jié)構(gòu)單元，其中二元醇、二硫醇、三元醇、三硫醇、二元酸、三元酸、二酰亞胺、二酰胺、酰亞胺–酰胺可含有1個或多個氮原子及/或硫原子，又或含有1個或多個烯烴基團(tuán)，以便當(dāng)用于集成電路制造時，增強(qiáng)在某波長下的吸光系數(shù)，以及在用于抗反射材料時，獲得高的折射率。
