采用電沉積制備氟化鈣或稀土摻雜氟化鈣薄膜的方法

公開(kāi)號(hào)       101871114

公開(kāi)日       2010.10.27

申請(qǐng)人  浙江大學(xué)

地址  浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)

本發(fā)明公開(kāi)了一種采用電沉積制備氟化鈣或稀土摻雜氟化鈣薄膜的方法。包括如下步驟：(1)用丙酮清洗ITO導(dǎo)電玻璃2 ~ 3次，再用去離子水將ITO導(dǎo)電玻璃放在超聲波清洗器里清洗10 ~ 30 min，接著將ITO導(dǎo)電玻璃放在10%的硝酸溶液中活化10 ~ 30 s，最后用去離子水清洗，待用；(2)0.01 ~ 1.00 mol/L乙二胺四乙酸二鈉與鈣離子的配合物溶液中，加入抗壞血酸鈉，再加入氟化銨溶液，調(diào)節(jié)pH為6 ~ 9，得到電解液，待用；(3)以ITO導(dǎo)電玻璃為工作電極，鉑電極為對(duì)電極，飽和甘汞電極為參比電極，置于電解液中進(jìn)行電沉積，相對(duì)于飽和甘汞電極的陽(yáng)極沉積電位為0.8 ~ 1.4 V，得到氟化鈣薄膜。本發(fā)明的優(yōu)勢(shì)在于設(shè)備簡(jiǎn)單，低成本，常壓低溫。除了適合于科學(xué)研究外，有望實(shí)現(xiàn)大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)。