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微機械加工技術(shù)——LIGA技術(shù)

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期：2012-05-14??瀏覽次數(shù)：321 ??關(guān)注：加關(guān)注
核心提示：微機械加工技術(shù)——LIGA技術(shù)

摘　要:簡要介紹了ＬＩＧＡ工藝過程，特點和應(yīng)用實例。

微機械加工技術(shù)——LIGA技術(shù).pdf
 

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