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摘 要:設(shè)計(jì)和制作了一種雙軸微磁通門傳感器。這種微型傳感器為螺線管型,磁芯設(shè)計(jì)為矩形環(huán)狀閉合結(jié)構(gòu),磁芯每條邊上均繞有激勵(lì)線圈和檢測(cè)線圈,保證傳感器能夠同時(shí)檢測(cè)X軸和Y軸兩個(gè)方向上的弱磁場(chǎng)。采用了MEMS技術(shù)制作微型傳感器,其中磁芯用電鍍的方法獲得,材料為N i0.8Fe0.2坡莫合金,厚度5μm。制作出的微型傳感器的尺寸為7×7mm^2,單元內(nèi)部最小線寬為50μm。檢測(cè)了線圈的電氣導(dǎo)通性,測(cè)得電阻值為110歐姆。該微型傳感器能夠檢測(cè)弱磁場(chǎng),因此可用于航天、醫(yī)學(xué)和軍事等領(lǐng)域。[著者文摘]
