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氧化鋁陶瓷基板化學(xué)鍍銅金屬化及鍍層結(jié)構(gòu).pdf

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2008-06-24??瀏覽次數(shù):496 ??關(guān)注:加關(guān)注
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【簡(jiǎn)介】

通過(guò)化學(xué)鍍銅在氧化鋁陶瓷基板表面實(shí)現(xiàn)了金屬化,采用SEM 研究了鍍銅層表面微觀形貌以及熱處理的影響,檢測(cè)分析了金屬化鍍層附著力。結(jié)果表明:通過(guò)控制鍍液中銅離子濃度以及銅沉積速率,在基板表面可形成均勻致密的銅金屬化層;熱處理后進(jìn)一步提高鍍層致密化和導(dǎo)電性,其方阻由3.6 mΩ/□降為2.3 mΩ/□。劃痕法測(cè)試表明鍍銅層與氧化鋁陶瓷基板結(jié)合緊密無(wú)起翹,可以滿足敷銅基板的要求。

氧化鋁陶瓷基板化學(xué)鍍銅金屬化及鍍層結(jié)構(gòu).pdf
 

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