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攪拌條件下電流密度對Cu鍍層的織構(gòu)和表面形貌的影響.pdf

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2006-05-10??瀏覽次數(shù):317 ??關(guān)注:加關(guān)注
核心提示:攪拌條件下電流密度對Cu鍍層的織構(gòu)和表面形貌的影響.pdf

【簡介】

研究了H2SO4+CuSO4電解液分別在靜止、機(jī)械攪拌和空氣攪拌作用下,電流密度對所獲得的銅電沉積層晶體取向和表面形貌的影響,XRD和SEM實(shí)驗(yàn)結(jié)果都表明,電流密度是造成Cu鍍層織構(gòu)和表面形貌變化的主要原因,電流密度低于6.0A/dm^2時(shí),Cu鍍層呈現(xiàn)(110)晶面擇優(yōu);高于15.0A/dm^2時(shí),呈現(xiàn)(111)晶面擇優(yōu),隨電流密度提高,Cu電結(jié)晶由側(cè)向生長模式轉(zhuǎn)向向上生長模式,攪拌作用的加強(qiáng)有利于晶本的生長。

攪拌條件下電流密度對Cu鍍層的織構(gòu)和表面形貌的影響.pdf
 

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