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【簡(jiǎn)介】
用PVD法制備光纖腐蝕傳感器(FOCS)的Fe-C合金敏感膜，在光纖纖芯上得到厚度大約1μm的Fe-C合金膜，而且光信號(hào)對(duì)敏感膜的腐蝕信息有響應(yīng)．為了增加敏感膜的厚度，根據(jù)平面波導(dǎo)與圓柱波導(dǎo)的相似性，采用PVD與電鍍復(fù)合的方法在平板石英玻璃上制備Fe-C合金膜，研究該膜層的形貌、結(jié)構(gòu)和在不同NaCl溶液中的耐蝕性．結(jié)果表明：復(fù)合制備的Fe-C合金膜的結(jié)構(gòu)和耐蝕性與普通碳鋼近似，并初步監(jiān)測(cè)了光信號(hào)對(duì)敏感膜腐蝕信息的響應(yīng)，為光纖腐蝕傳感器奠定了基礎(chǔ)。
