增進模具可靠性的表面強化技術(shù)：氣相沉積

【簡介】

氣相沉積

根據(jù)沉積的機理不同，氣相沉積可分為化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積和等離子增強化學(xué)氣相沉積。它們的共同特點是將具有特殊性能的穩(wěn)定化合物直接沉積于金屬模具表面，形成一層超硬覆蓋膜，從而使模具具有高硬度、高耐磨、高抗蝕等優(yōu)異性能^[2，4]。化學(xué)氣相沉積是將模具工件置于有氫氣保護的爐內(nèi)，加熱到高溫(800 ℃以上)，向爐內(nèi)通入反應(yīng)氣，使之在爐內(nèi)熱解、化合成新的化合物，沉積在工件表面，通常涂膜厚度為6～10 9m；物理氣相沉積是指在真空條件下，用物理方法在金屬表面沉積一層具有特殊性能的薄膜；等離子增強化學(xué)氣相沉積是介于化學(xué)氣相沉積和物理氣相沉積之間的一種處理方法，它兼有化學(xué)氣相沉積的良好繞鍍性及物理氣相沉積可低溫成膜的優(yōu)點，設(shè)備簡單，操作方便，適用于形狀復(fù)雜的精密模具。