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【簡介】
銅的性質(zhì)決定了銅在工業(yè)應(yīng)用中的重要性，特別是目前在微電子工業(yè)中的決定性作用，使銅的電沉積過程成為研究熱點(diǎn)。結(jié)合銅在微電子工業(yè)中的應(yīng)用，綜述了硫酸鹽鍍銅中銅的電沉積機(jī)理、銅鍍層微結(jié)構(gòu)、添加劑對銅電沉積過程的影響以及銅電沉積初期行為方面的研究進(jìn)展。指出了銅電沉積未來的研究方向。
【簡介】
銅的性質(zhì)決定了銅在工業(yè)應(yīng)用中的重要性，特別是目前在微電子工業(yè)中的決定性作用，使銅的電沉積過程成為研究熱點(diǎn)。結(jié)合銅在微電子工業(yè)中的應(yīng)用，綜述了硫酸鹽鍍銅中銅的電沉積機(jī)理、銅鍍層微結(jié)構(gòu)、添加劑對銅電沉積過程的影響以及銅電沉積初期行為方面的研究進(jìn)展。指出了銅電沉積未來的研究方向。
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