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【專利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】200510029315.X
【公開(公告)號(hào)】CN1767090
【申請(qǐng)人(專利權(quán))】上海交通大學(xué)
【申請(qǐng)日期】2005-9-1 0:00:00
【公開(公告)日】2006-5-3 0:00:00
一種微電子技術(shù)領(lǐng)域的空芯結(jié)構(gòu)射頻螺線管微電感，由襯底、引腳、螺線管線圈和平面波導(dǎo)線組成，螺線管線圈位于襯底上，其周圍為平面波導(dǎo)線，螺線管線圈由底層線圈、頂層線圈通過(guò)連接導(dǎo)體連接形成，螺線管線圈的兩端連接引腳，螺線管線圈的底層線圈、頂層線圈、連接導(dǎo)體均通過(guò)空氣絕緣隔開。本發(fā)明解決了螺線管線圈的立體繞線及高深寬比的電鍍問(wèn)題，使得微電感的射頻性能大大提高，具有廣泛的用途。
