??
【專利號(申請?zhí)?】03129276.3
【公開(公告)號】CN1477655
【申請人(專利權(quán))】上海交通大學(xué)
【申請日期】2003-6-12 0:00:00
【公開(公告)日】2004-2-25 0:00:00
一種懸空結(jié)構(gòu)射頻微電感及其制作工藝。屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域。包括：襯底、金屬螺旋線圈、引線、支撐體、連接體、平面波導(dǎo)線，金屬螺旋線圈與襯底之間設(shè)置有支撐體，支撐體一端與所述的金屬螺旋線圈連接，支撐體的另一端與襯底連接，在金屬螺旋線圈與引線連接處設(shè)置有連接體，連接體兩端分別與金屬螺旋線圈和引線相連接。工藝具體如下：(1)襯底基片清洗處理；(2)淀積Cr/Cu種子層；(3)甩膠；(4)曝光與顯影；(5)電鍍；(6)去膠及種子層；(7)甩膠；(8)曝光與顯影；(9)電鍍；(10)濺射銅種子層；(11)甩膠；(12)曝光與顯影；(13)電鍍；(14)去膠。本發(fā)明使微電感損耗大大降低，性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于相同參數(shù)的平面微電感。
