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【專(zhuān)利號(hào)(申請(qǐng)?zhí)?】03102638.9
【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN1484296
【申請(qǐng)人(專(zhuān)利權(quán))】海力士半導(dǎo)體有限公司
【申請(qǐng)日期】2003-2-14 0:00:00
【公開(kāi)(公告)日】2004-3-24 0:00:00
提供一種在半導(dǎo)體裝置的制造工序中，制作圖象傳感器器件，不另外制作安裝鏡頭模塊，直接在器件上安裝鏡頭來(lái)制成鏡頭內(nèi)藏型圖象傳感器的方法。該制作方法包括：在基板上蒸涂金屬布線、絕緣膜和最上金屬層；僅除去處于像素陣列的外周緣的最上金屬層，并在最上金屬層上蒸涂保護(hù)膜；蒸涂保護(hù)膜并進(jìn)行濾色工序后，進(jìn)行對(duì)襯墊金屬端子開(kāi)孔的掩膜工序，使保護(hù)膜的兩端之間的最上金屬層露出來(lái)；在最上金屬層上蒸涂鈦膜和金屬膜；在金屬膜上對(duì)形成金屬凸塊的部分開(kāi)孔后，利用電鍍方式生長(zhǎng)金屬凸塊；除去電鍍生長(zhǎng)成的金屬凸塊下部的金屬膜和鈦膜；形成與器件的像素陣列對(duì)準(zhǔn)的鏡頭；利用對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記把上述鏡頭與上述器件連結(jié)起來(lái)。
