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摘要： 針對(duì)磁電層合式磁傳感器Q值低的問題，提出一種磁性薄膜與石英音叉復(fù)合的磁傳感器結(jié)構(gòu)，通過檢測(cè)音叉諧振頻率變化量或Q值變化量，達(dá)到檢測(cè)靜磁場(chǎng)的目的。采用有限元方法對(duì)磁性薄膜的位置進(jìn)行了設(shè)計(jì)和仿真，發(fā)現(xiàn)薄膜復(fù)合于音叉?zhèn)缺垌敳坑凶铎`敏的磁場(chǎng)探測(cè)能力，并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：敏感結(jié)構(gòu)在零偏置磁場(chǎng)時(shí)Q值為2000左右，在靜磁場(chǎng)作用下，諧振頻率最大靈敏度為9.233Hz/mT，Q值最大靈敏度為119.471/mT;諧振頻率分辨率為0.1Hz，石英音叉諧振頻率穩(wěn)定度為20ppm時(shí)，該結(jié)構(gòu)磁傳感器對(duì)磁場(chǎng)的分辨率為10-5T;Q值分辨率為1，石英音叉Q值穩(wěn)定度為20ppm時(shí)，該結(jié)構(gòu)磁傳感器對(duì)磁場(chǎng)的分辨率為10-6T，高于測(cè)量諧振頻率。即，測(cè)量Q值變化量來檢測(cè)磁場(chǎng)的方式更優(yōu)。
