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牛津儀器Asylum Research原子力顯微鏡助力薄膜沉積和刻蝕工藝發(fā)展

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2015-09-29??來源:中國電鍍網(wǎng)??瀏覽次數(shù):955 ??關(guān)注:加關(guān)注
核心提示:中國電鍍網(wǎng)訊:在材料科技中,薄膜無處不在,其應(yīng)用范圍非常廣泛:上至獨特的新生代材料(如鐵電數(shù)據(jù)存儲),下至日常用品(如食品

中國電鍍網(wǎng)訊:在材料科技中,薄膜無處不在,其應(yīng)用范圍非常廣泛:上至獨特的新生代材料(如鐵電數(shù)據(jù)存儲),下至日常用品(如食品包裝)。由于薄膜固有尺寸(厚度、粒度、晶塊尺寸等)的限定及其對性能高度依賴的特點,因此需要具有納米級分辨率的設(shè)備對其進(jìn)行表征測量。原子力顯微鏡(AFM)長期以來被用于測量薄膜的粗糙度和均勻度,如今這仍然是原子力顯微鏡最常用的測量用途之一。隨著材料變得越來越復(fù)雜,原子力顯微鏡的運用也越來越多注重功能性,包括機械特性、電子特性、電子機械特性和磁特性等。牛津儀器Asylum Research發(fā)布的題為《原子力顯微鏡薄膜表征:高分辨率形貌和功能特性》的應(yīng)用手冊描述了Asylum Research原子力顯微鏡在該領(lǐng)域的多種應(yīng)用方式,并包含若干實例,闡述了如何采用原子力顯微鏡直接獲取薄膜材料表征,從而幫助薄膜材料的研究和開發(fā)。

牛津儀器Asylum Research市場營銷總監(jiān)Ben Ohler博士說:“過去二十年來,原子力顯微鏡在薄膜測量中的應(yīng)用已經(jīng)非常普遍,許多人認(rèn)為這項功能對于任何以往的原子力顯微鏡來說都是其能力范圍內(nèi)的基本操作。但這種思維方式忽略了一個事實,許多薄膜的尺寸正在不斷縮小,功能的復(fù)雜性卻在不斷增加。現(xiàn)在薄膜的粗糙度已經(jīng)到了第一代原子力顯微鏡的噪聲范圍之內(nèi)。此外薄膜的性能不僅取決于于其表面形貌,還與納米電學(xué)特性和納米力學(xué)特性密切相關(guān)。Asylum Research原子力顯微鏡具有更高性能的高級成像模式,能提供這些材料更全面的信息。如今,與你通常在薄膜沉積和刻蝕設(shè)施中所見到的原子力顯微鏡相比,我們的原子力顯微鏡具有顯著的易用性優(yōu)勢,能夠大大提高工作效率。”

獲取更多信息,下載應(yīng)用手冊,請訪問以下鏈接: www.oxford-instruments.com/thin-films

下圖:結(jié)構(gòu)有序的熱解石墨基材上的非平面Phthalocyanine膜結(jié)晶微區(qū)3D形貌圖。Phthalocyanine作為有機半導(dǎo)體擁有潛在用途,25微米掃描。華威大學(xué)Luke Rochford供圖。

牛津儀器將繼續(xù)以支持中國科學(xué)研究發(fā)展為己任,為中國廣大科研人員提供高性能、高可靠性的原子力顯微鏡設(shè)備等;同時牛津儀器的服務(wù)團隊也可以為用戶提供系列服務(wù)套餐,包括配件和耗材、延保合同、產(chǎn)品培訓(xùn)、服務(wù)維修和技術(shù)支持等。

更多原子力顯微鏡設(shè)備信息,請訪問:

www.oxford-instruments.cn/asylumresearch

銷售熱線:400 621 5191

服務(wù)熱線:400 622 5191

牛津儀器官方微信:


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