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中國電鍍網(wǎng)訊：現(xiàn)場您可了解更多有關(guān)MEMS應(yīng)用以及系統(tǒng)信息。
時間：2016年1月24日-28日
地點：上海國際會議中心(濱江大道2727號)
展位號：27
結(jié)合硅基微電子學(xué)和微機械加工科技，MEMS技術(shù)和基于微系統(tǒng)技術(shù)的設(shè)備正改善著我們的生活和居住方式。數(shù)以百萬計的MEMS器件如今已被應(yīng)用于我們?nèi)沼闷分小?/p>
采用深硅刻蝕，低溫刻蝕，Bosch和原子層沉積等技術(shù)，牛津儀器研發(fā)了一系列靈活易用品質(zhì)上乘的系統(tǒng)設(shè)備，并推進MEMS技術(shù)的革新。
牛津儀器將繼續(xù)以支持中國科學(xué)研究發(fā)展為己任，為中國廣大科研人員提供高性能、高可靠性的等離子體設(shè)備、原子層沉積設(shè)備等;同時牛津儀器的服務(wù)團隊也可以為用戶提供系列服務(wù)套餐，包括配件和耗材、延保合同、產(chǎn)品培訓(xùn)、服務(wù)維修和技術(shù)支持等。
更多等離子體設(shè)備信息，請訪問：
www.oxford-instruments.cn/plasma
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