中國(guó)電鍍網(wǎng)訊:中科院上海硅酸鹽研究所目前已在場(chǎng)發(fā)射電鏡上安裝了一臺(tái)超級(jí)能譜Extreme展示樣機(jī)。日前,牛津儀器在上海硅酸鹽研究所舉辦了Extreme的應(yīng)用研討會(huì),為大家介紹了Extreme的應(yīng)用結(jié)果及使用體會(huì),同時(shí)還現(xiàn)場(chǎng)參觀了Extreme的演示。

在最新的高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡中對(duì)于精細(xì)納米結(jié)構(gòu)及表層材料的成像表征有三個(gè)關(guān)鍵因素:
1) 低加速電壓 (1-3 kV)
2) 小束流 (pA)
3) 短工作距離
在這些條件下可以獲得最小尺寸束斑及高分辨率圖像(<5nm)。然而,所產(chǎn)生的極低X射線信號(hào)也意味著利用傳統(tǒng)SDD探頭無(wú)法進(jìn)行能譜分析。
為解決此問(wèn)題,牛津儀器專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)出全新一代能譜探測(cè)器X-Max Extreme超級(jí)能譜儀。通過(guò)采用巧妙設(shè)計(jì),使其在極低能量入射下,盡可能高地提升X射線計(jì)數(shù)接收能力,在采集電子圖像的同時(shí)獲得極高空間分辨率的元素面分布。
* FEG-SEM中優(yōu)于10nm的元素表征
* 材料表面表征靈敏度高
* 低至1千伏材料表征
* 極致的輕元素靈敏度
* 可探測(cè)到Li元素

牛津儀器將繼續(xù)以支持中國(guó)科學(xué)研究發(fā)展為己任,為中國(guó)廣大科研人員提供高性能、高可靠性的納米分析設(shè)備等;同時(shí)牛津儀器的服務(wù)團(tuán)隊(duì)也可以為用戶(hù)提供系列服務(wù)套餐,包括配件和耗材、延保合同、產(chǎn)品培訓(xùn)、服務(wù)維修和技術(shù)支持等。
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