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摘要： 利用雙層輝光離子滲金屬技術(shù)在Ti6Al4V合金表面滲Mo, W-Mo及W-Mo-N共滲。采用圖像分析儀觀察截面組織形貌，輝光放電光譜分析儀測定了各種改性層的元素分布，采用顯微硬度測量儀分析對比了三種合金改性層的硬度。結(jié)果表明: Ti6Al4V 合金表面經(jīng)過滲Mo，W-Mo及W-Mo-N共滲都可以形成致密、均勻的表面合金改性層，W-Mo共滲改性層最厚，約為9μm；單純滲Mo改性層由純Mo沉積層及Mo的擴散層組成，W-Mo共滲改性層由（W+Mo）擴散層組成，W-Mo-N共滲改性層由（W+Mo+N）擴散層組成；通過三種表面改性后鈦合金的表面硬度都有不同程度提高，其中W-Mo-N共滲表面硬度提高最大，達1504HV，但W-Mo-N共滲和滲Mo改性層硬度降低較快。
