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公開(kāi)號(hào) 101281858
公開(kāi)日 20081008
申請(qǐng)人 株式會(huì)社荏原制作所
地址 日本東京
提供了一種基片保持裝置，其包括：一個(gè)固定保持元件和一個(gè)可移動(dòng)保持元件，它們用于將一個(gè)基片保持在它們之間;一個(gè)內(nèi)側(cè)密封元件，其用于與所述基片的周部壓力接觸，以密封住所述周部;以及一個(gè)外側(cè)密封元件，其圍繞著所述基片布置，用于將所述可移動(dòng)保持元件和所述固定保持元件之間密封。還提供了一種包括此基片保持裝置的電鍍?cè)O(shè)備。
