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公開日 20081009
發(fā)明人 KATHREIN M
申請人 CERATIZIT Austria Gesellschaft m.b.H.
該氣相沉積膜至少有一層厚度為10 ~ 90 nm的金屬硬質(zhì)材料膜X，以及至少一層摻有0.005 ~ 5%(原子分?jǐn)?shù))硼、厚度為10 ~ 90 nm的金屬硬質(zhì)材料Y。至少有一層X膜與Y膜相鄰。本發(fā)明的膜層可顯著提高耐磨性。
公開日 20081009
發(fā)明人 KATHREIN M
申請人 CERATIZIT Austria Gesellschaft m.b.H.
該氣相沉積膜至少有一層厚度為10 ~ 90 nm的金屬硬質(zhì)材料膜X，以及至少一層摻有0.005 ~ 5%(原子分?jǐn)?shù))硼、厚度為10 ~ 90 nm的金屬硬質(zhì)材料Y。至少有一層X膜與Y膜相鄰。本發(fā)明的膜層可顯著提高耐磨性。
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