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表面電阻現(xiàn)在已經(jīng)普遍采用表面電阻測試儀進行測量，這種商業(yè)化的儀器可測量樣件表面電阻及樣件接地電阻；電阻值可以采用數(shù)量級方式顯示；其測量范圍約為100～1000Ω。但是其測量的原理，無非是直接測量法和電橋測量法。
直接測量法比較簡單，是在被測表面取兩個點，然后用萬用表測試兩個點之間的阻值，只適合于表面阻值較高的絕緣性表面，而電橋法則是比較通用的方法。
電橋法也叫惠斯登電橋法，其測試原理圖如圖2-6所示。
測量時，調(diào)節(jié)RA、RB使電橋平衡，也就使流過檢流計中的電流為零，此時有：
Rx=RBRN／RA
圖2-6 惠斯登電橋法測量原理
1-電源; 2-開關(guān)；3-電壓表；4-十進制可調(diào)標準電阻RB;
5-試樣電阻Rx;6-檢流計，7-十進制可調(diào)標準電阻RA；8-標準電阻RN
惠斯登電橋測量電阻時，一般用于測量10120以下的電阻，并且，無法觀察電化電流隨時間變化的情形。
