??
摘要：利用表面預(yù)鍍中間層在45號鋼上化學(xué)氣相沉積(CVD)得到了金剛石膜。鋼基底表面金剛石涂層具有許多潛在應(yīng)用價值，但直接在鋼上沉積生長金剛石面臨長的形核期，鐵原子的觸媒作用和熱膨脹不匹配等嚴(yán)重問題。文中采用鋼基底表面預(yù)鍍中間層的方法，阻止碳向基底中擴散，增強膜基結(jié)合和抑制SP2雜化碳的沉積。分別研究了直接在鋼基底上、表面預(yù)鍍銅膜和表面預(yù)鍍硅膜鋼基底上熱絲法沉積金剛石膜的工藝特點。通過SEM、Raman譜和劃痕法檢驗表明，鋼基底表面預(yù)鍍硅膜作為中間層，是一種在鋼上沉積金剛石膜的有效方法。
