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一種制備無鉛Sn–Cu合金焊料的雙脈沖電鍍液及電鍍工藝

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核心提示:公開號 101748453公開日 2010.06.23申請人 合肥工業(yè)大學地址 安徽省合肥市屯溪路193號本發(fā)明公開了一種制備無鉛SnCu合金焊料的雙

公開號 101748453

公開日 2010.06.23

申請人 合肥工業(yè)大學

地址 安徽省合肥市屯溪路193號

本發(fā)明公開了一種制備無鉛Sn–Cu合金焊料的雙脈沖電鍍液及電鍍工藝,是將金屬化Si晶片放置于電鍍液中通入雙脈沖電流進行雙脈沖電鍍,所述的電鍍液的化學成分為檸檬酸三銨0.4 ~ 0.5 mol/L、二水合氯化亞錫0.2 ~ 0.25 mol/L、二水合氯化銅0.025 ~ 0.035 mol/L,均為分析純配制。所述的雙脈沖電鍍的參數(shù)為:頻率為80 ~ 120 Hz,雙脈沖的占空比為18% ~ 22%,正向脈沖時間900 ~ 1 100 ms ,反向脈沖時間90 ~ 110 ms,電流密度9 ~ 11 mA/cm2。本發(fā)明合理選擇電鍍?nèi)芤号浞郊懊}沖電沉積工藝參數(shù)來制備Sn–Cu合金焊料的方法,提高了電鍍速率,且制備的制備的Sn–Cu合金焊料粗糙度低、厚度均勻、表面平整,孔隙少、結(jié)構(gòu)致密、電鍍層中的應力小。

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