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摘 要:論述了薄膜微波集成電路中一種新的電路制作技術(shù)－圖形電鍍技術(shù)的工藝及其在生產(chǎn)中的應用。并就應用中出現(xiàn)的一些問題及其解決方法作了進一步的探討。運用該技術(shù)，我們制作了膜厚〉４μｍ，線寬和間距為１０μｍ的導體圖形以及ＶＣＯ、移相器、放大器等許多超寬帶微波器件。
摘 要:論述了薄膜微波集成電路中一種新的電路制作技術(shù)－圖形電鍍技術(shù)的工藝及其在生產(chǎn)中的應用。并就應用中出現(xiàn)的一些問題及其解決方法作了進一步的探討。運用該技術(shù)，我們制作了膜厚〉４μｍ，線寬和間距為１０μｍ的導體圖形以及ＶＣＯ、移相器、放大器等許多超寬帶微波器件。
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