P型Si上電沉積Ni—W—P合金薄膜

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核心提示：P型Si上電沉積Ni—W—P合金薄膜

摘　要:首次采用恒電流電沉積方式在Ｐ型Ｓｉ（１１１）上制備出Ｎｉ－Ｗ－Ｐ合金薄膜。考察了電沉積條件對(duì)鍍支組成的影響，確定了軒表面致密、具有良好的結(jié)合力的Ｎｉ－Ｗ－Ｐ合金薄膜的最工藝條件。

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