摘 要:化學(xué)鍍Cu是Al2O3陶瓷基板表面金屬化的一種頗具優(yōu)勢(shì)的方法,但鍍層與基板之間的結(jié)合力較低影響其廣泛應(yīng)用。本文通過選取適當(dāng)?shù)母g劑,改善了Al2O3陶瓷表面形貌,從而獲得了25MPa以上的鍍層結(jié)合強(qiáng)度,可滿足電子封裝的要求。另外,本文通過SEM及EDAX,對(duì)腐蝕產(chǎn)生的結(jié)合強(qiáng)度的提高進(jìn)行了微觀分析。
摘 要:化學(xué)鍍Cu是Al2O3陶瓷基板表面金屬化的一種頗具優(yōu)勢(shì)的方法,但鍍層與基板之間的結(jié)合力較低影響其廣泛應(yīng)用。本文通過選取適當(dāng)?shù)母g劑,改善了Al2O3陶瓷表面形貌,從而獲得了25MPa以上的鍍層結(jié)合強(qiáng)度,可滿足電子封裝的要求。另外,本文通過SEM及EDAX,對(duì)腐蝕產(chǎn)生的結(jié)合強(qiáng)度的提高進(jìn)行了微觀分析。
