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提高Al2O3陶瓷表面化學(xué)鍍Cu層結(jié)合力的研究

放大字體??縮小字體 發(fā)布日期:2012-05-13??瀏覽次數(shù):247 ??關(guān)注:加關(guān)注
核心提示:提高Al2O3陶瓷表面化學(xué)鍍Cu層結(jié)合力的研究

摘 要:化學(xué)鍍Cu是Al2O3陶瓷基板表面金屬化的一種頗具優(yōu)勢(shì)的方法,但鍍層與基板之間的結(jié)合力較低影響其廣泛應(yīng)用。本文通過選取適當(dāng)?shù)母g劑,改善了Al2O3陶瓷表面形貌,從而獲得了25MPa以上的鍍層結(jié)合強(qiáng)度,可滿足電子封裝的要求。另外,本文通過SEM及EDAX,對(duì)腐蝕產(chǎn)生的結(jié)合強(qiáng)度的提高進(jìn)行了微觀分析。

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