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摘 要:報(bào)道了新一代紫外光源－激發(fā)態(tài)雙分子（Excimer) 紫外光源在制備金屬薄膜材料方面的應(yīng)用研究。金屬鈀是一種優(yōu)良的催化劑，首先在各種襯底如Al2O3、AIN、玻璃以及聚合物等上面淀積靶的金屬有機(jī)化合物薄膜，通過(guò)紫外分解鈀的金屬有機(jī)化合物，形成數(shù)埃到十幾埃的鈀膜，然后再利用鈀的催化效應(yīng)，在無(wú)電極電鍍液中沉積出幾十納米到幾微米厚的各種金屬薄膜（如Cu、Au、Ni等）。
摘 要:報(bào)道了新一代紫外光源－激發(fā)態(tài)雙分子（Excimer) 紫外光源在制備金屬薄膜材料方面的應(yīng)用研究。金屬鈀是一種優(yōu)良的催化劑，首先在各種襯底如Al2O3、AIN、玻璃以及聚合物等上面淀積靶的金屬有機(jī)化合物薄膜，通過(guò)紫外分解鈀的金屬有機(jī)化合物，形成數(shù)埃到十幾埃的鈀膜，然后再利用鈀的催化效應(yīng)，在無(wú)電極電鍍液中沉積出幾十納米到幾微米厚的各種金屬薄膜（如Cu、Au、Ni等）。
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