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摘 要:在簡述軟X射線的自支撐透射光柵制作工藝的基礎(chǔ)上，重點(diǎn)研究支撐結(jié)構(gòu)制作中的紫外光刻和電鍍兩步工藝，紫外光刻中的菲涅耳衍射會造成光刻膠不能顯影到底或起保護(hù)作用的光刻膠面積減小，厚度減薄，比較了兩個(gè)不同電鍍條件下的電鍍實(shí)驗(yàn)結(jié)果，結(jié)果表明低的溫度和電流密度（40℃，1.5mA/cm^2)下的鍍膜致密，光滑，應(yīng)力小，對光柵結(jié)構(gòu)無任何影響，高的溫度和電流密度（47℃，5.6mA/cm^2)下的鍍膜相對粗糙，應(yīng)力大，造成光柵線條的扭曲，并攏，甚至拉斷光柵線條。
