摘 要:微波混合集成電路一般是指利用薄膜技術(shù)在陶瓷基板上集成電阻、電感、傳輸線等元件,然后表面貼裝有源芯片、器件而制成的電路。隨著集成度的提高。離散的金屬圖形愈來愈多,這種圖形受微波傳輸趨膚深度和焊接的要求,要具有一定的厚度(通常4-10μm)和良好的焊接性能,電鍍技術(shù)是滿足這些要求的有效方法。本文對(duì)三種電鍍技術(shù)即先電鍍后光刻成型、帶光刻膠電鍍技術(shù)、及利用陶瓷板上打底層作圖形電連接的電鍍技術(shù)進(jìn)行了分析比較和實(shí)驗(yàn)研究,結(jié)果表明,利用鉻打底層作電連接的電鍍方法具有良好的可批生產(chǎn)性,制作的電路焊接性能優(yōu)良,能夠較好地滿足批生產(chǎn)要求。










