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摘 要:為慣性約束聚變（ICF）實驗中利用光柵分光特性間接探測激光功率研究，制備具有高激光損傷閾值的光柵分光ZrO2薄膜。采用水熱法制備納米ZrO2溶膠，在80－100℃下，以20m/min速度涂敷制備出厚1－2μm、拆射率為1．57－1．70、表面粗糙度2．3nm、激光損傷閾值為25－30J/cm^2(1ns,1.06μm）的ZrO2薄膜。采用Ar^+激光器雙光束干涉曝光技術制備光柵掩膜板，光柵周期為1－2μm，深度70－100nm。通過電鍍工藝將光柵結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移至鎳板上，經(jīng)連續(xù)模壓，最終制備出光柵分光ZrO2薄膜。分析了光柵周期、模壓深度及薄膜折射率等因素對光柵一級衍射效率的影響。制備出的光柵分光ZrO2薄膜有望用于高功率激光測量。
