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摘 要:提出了一種新型微泵設(shè)計(jì)方案和制作工藝，將電磁驅(qū)動(dòng)器與大振幅振動(dòng)膜相結(jié)合，得到流量大、易于控制的新型微泵。該微泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，由硅橡膠(聚二甲基硅氧烷PDMS橡膠)振動(dòng)膜和無(wú)閥泵泵體組成，將硅加工工藝和非硅加工工藝(電鍍)相結(jié)合。采用電鍍和硅橡膠加工方法將振動(dòng)膜直接制作在一個(gè)硅片上；用電鍍和體硅加工工藝將驅(qū)動(dòng)線圈和無(wú)閥泵泵體制作在另一塊硅片上，然后將兩個(gè)硅片鍵合在一起。對(duì)該微泵的性能特點(diǎn)正進(jìn)行著更深入的研究。
