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摘 要:描述各向異性腐蝕結(jié)合鍵合和各向異性腐蝕結(jié)合電鍍來制作微尖的方法，利用這兩種方法制作出了針尖直徑小于25nm的金字塔形微尖，通過實驗證明：這是兩種有良好可控性和工藝要求不高的制作方法。微尖的成功制作為傳感器微型化提供了一種很有潛力的新型檢測方式，解決了檢測的靈敏度問題。
摘 要:描述各向異性腐蝕結(jié)合鍵合和各向異性腐蝕結(jié)合電鍍來制作微尖的方法，利用這兩種方法制作出了針尖直徑小于25nm的金字塔形微尖，通過實驗證明：這是兩種有良好可控性和工藝要求不高的制作方法。微尖的成功制作為傳感器微型化提供了一種很有潛力的新型檢測方式，解決了檢測的靈敏度問題。
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豫公網(wǎng)安備41010502006893號
