摘 要:通過引入銅過渡鍵合墊片，取消了金-鋁鍵合系統(tǒng)，改用鋁-鋁鍵合，以提高功率混合集成電路內(nèi)引線鍵合強度的可靠性等級，滿足某些特殊領域的要求。運用SPC控制，對鍵合工藝進行了有效控制，使功率混合集成電路內(nèi)引線鍵合強度和鍵合工序能力得到了較大的提高。
功率混合集成電路鍵合強度控制研究.pdf
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