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摘 要:積層多層板結(jié)構(gòu)借助于銅充填實現(xiàn)生產(chǎn)高密度互連結(jié)構(gòu)。通過選擇添加劑以達(dá)到充填孔的工藝目的。例如在電鍍銅槽液中添加SPS（Bis（3-磺酸丙基）disulfidedisodium）為光亮劑、JSB（Janes green B）為整平劑和PEG（聚乙二醇）的聚合物。但是，這些添加刺隨著電鍍時間消耗或分解充填能力減弱。因此，添加劑的消耗或分解的評價是從電化學(xué)分析來觀察其充填能力。從電化學(xué)解析的結(jié)果，快速的確定SPS和通過沿用的評價添加劑的添加的方法，添加劑JGB、PEG是最具有耐久性。[著者文摘]
