摘 要:光梯尺最早由美國杜邦公司傳入我國，始于20世紀70年代，當時是用干膜抗蝕劑經(jīng)過曝光顯影后作為圖型抗蝕刻或抗電鍍的掩膜，曝光測試工具隨杜邦生產(chǎn)的”瑞斯頓”光致抗蝕干膜進入我國市場，17級的光梯尺則是專門為杜邦“瑞斯頓”光致抗蝕劑干膜而設(shè)計的曝光輔助工具。[第一段]
光梯尺（光楔表）的正確使用.pdf
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