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摘 要:主要闡述一種微型電磁驅動器的制作工藝，該驅動器由振動膜層和線圈層兩層構成。振動振動膜材料為硅橡膠薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane），在其中嵌入CoNiMnP永磁體陣列，采用電鍍方法制作磁體陣列，由甩膠機旋涂硅橡膠并進行固化。磁體陣列中每一個小磁體塊的尺寸為（50×50×20）μm，其矯頑力，剩磁和最大磁能積分別為2623Oe（208．73kA／m），0．2T（2000G）和10．15kJ／m^3。[著者文摘]
摘 要:主要闡述一種微型電磁驅動器的制作工藝，該驅動器由振動膜層和線圈層兩層構成。振動振動膜材料為硅橡膠薄膜（PDMS，polydimethyl siloxane），在其中嵌入CoNiMnP永磁體陣列，采用電鍍方法制作磁體陣列，由甩膠機旋涂硅橡膠并進行固化。磁體陣列中每一個小磁體塊的尺寸為（50×50×20）μm，其矯頑力，剩磁和最大磁能積分別為2623Oe（208．73kA／m），0．2T（2000G）和10．15kJ／m^3。[著者文摘]
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