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摘 要:對11．5μm厚中間缺口電鍍銅薄膜的單向拉伸疲勞斷裂特性進行研究。試件采用準(zhǔn)LIGA（lithographie，galvanformung，abformung，光刻、電鑄、塑鑄的完美結(jié)合）工藝制作。試驗觀測發(fā)現(xiàn)，多數(shù)電鍍銅薄試件斷裂發(fā)生在缺口根部，斷裂表面與缺口Y向?qū)ΨQ軸線夾角約成12°，以沿晶斷裂為主。利用彈塑性有限元分析，模擬得到斷裂危險區(qū)域為缺口根部；連接危險區(qū)域邊界點與缺口曲率中心的邊界線，與缺口Y向?qū)ΨQ軸線的夾角約成±14．2°范圍內(nèi)，與試樣斷裂情況相符；缺口根部斷裂主要受拉伸應(yīng)力控制。用Neuber方法所得結(jié)果與有限元分析結(jié)果進行對比，間接驗證有限元分析結(jié)果的合理性。[著者文摘]
