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摘 要:為了能得到植入在生物體內(nèi)，用于體內(nèi)微型電子系統(tǒng)與體外設(shè)備信號和能量傳輸?shù)母咂焚|(zhì)因數(shù)Q值和高電感量L值的MEMS電感線圈，本文首先對MEMS電感模型做了理論分析，然后在充分考慮功率傳輸要求、植入器件體積的限制以及制作工藝的可實現(xiàn)性的情況下，用高精度的3D電磁仿真軟件HFSS，對電感的主要參數(shù)如圈數(shù)N、線寬W、導(dǎo)線間隙S、導(dǎo)線厚度H、導(dǎo)線材料M和襯底電導(dǎo)率σ作了優(yōu)化設(shè)計。最終確定N=10、W＝25μm、S=50μm、H=48μm、M為Cu、σ=0．1S／m。數(shù)值仿真的結(jié)果顯示Q=17．6，L=55nH，fQMAX=240MHz，fself=1．2GHz，它們能很好地符合能量傳輸?shù)墓β室蠛托盘杺鬏數(shù)膸捯蟆著者文摘]
