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摘 要:一種電化學(xué)制造電路工藝紐卡斯?fàn)柎髮W(xué)電化學(xué)納米材料教授提出了一種新的基板無(wú)掩膜電化學(xué)制造電路技術(shù)，稱為EnFACE（Electrochemical Patterningby Flowand Chemistry），這不同于常規(guī)的基板上光致掩膜成像后蝕刻方法制造電路圖形。EnFACE技術(shù)原理是預(yù)先制成一塊電路圖形模板，作為一端電極，另一端電極是基板，利用電化學(xué)的電鍍或蝕刻功能，通過(guò)選擇性電鍍或蝕刻形成電路圖形（如圖）。[第一段]
