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【簡(jiǎn)介】
利用YAG脈沖激光在n型硅基底上制備出了銅化學(xué)鍍薄層，由激光剝離形成的微型圖元通過(guò)化學(xué)鍍銅工藝在硅基底上形成銅的微型結(jié)構(gòu)。在化學(xué)鍍工藝過(guò)程中為了使得化學(xué)鍍銅沉積能夠連續(xù)進(jìn)行，要對(duì)基底表面先進(jìn)行活化。實(shí)驗(yàn)表明，預(yù)處理及其后的清洗工藝對(duì)選擇性鍍膜質(zhì)量影響很大；采用丙酮或硝酸水清洗，有助于獲得清晰的微型圖元結(jié)構(gòu)。
